표면입자계수기는 코팅이나 세정을 마친 부품의 표면에 남아 있는 입자 및 이물을 검사하는 장치다.
SM 시리즈는 제덱스의 전용 입자 채취 필름을 이용해 기존 표면입자계수기보다 입자 및 이물 계수 등의 오염 제어가 용이하다. 또 다양한 장치용 부품의 계수 실적으로 기반으로 더 쉬운 계수가 가능한 제덱스 자체 개발 소프트웨어가 따로 내장돼 있다.
SM 시리즈는 클리닝 용액을 멤브레인 필터로 여과할 때 클리닝 장치의 액체 중 입자를 검출하는 것도 가능하다. 클리닝 공정에 자주 쓰이는 초순수 등 각종 액중 입자를 관리해 공정의 효율성을 높인다.
제덱스는 기존에 판매 중인 S2 시리즈보다 설치 면적이 작아 가격도 더 저렴하다고 밝혔다.
SM 시리즈에 대한 추가 정보는 제덱스 공식 홈페이지에서 확인할 수 있다.